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原子力顯微鏡儀器組成

點(diǎn)擊次數(shù):2069  更新時(shí)間:2019-12-10
  原子力顯微鏡可以高分辨表征各種樣品的表面形貌,可以分析與作用力相對應(yīng)的各種表面性質(zhì),另外利用針尖可以操縱原子和進(jìn)行納米加工。
  儀器組成:
1. NanoscopeIIIa控制器一臺(tái)
2. Quadrex Box一臺(tái)
3. Pico-force控制器一臺(tái)
4. VT50防震臺(tái)一個(gè)
5. Veeco光學(xué)成像系統(tǒng)一套
  具有極其優(yōu)異的性能,同時(shí)采用了先進(jìn)的專門用于相互作用力測量的Pico-force系統(tǒng),進(jìn)一步擴(kuò)展了原子力顯微鏡的使用范圍。
原子力顯微鏡技術(shù)參數(shù)
◆ 基本工作模式:輕敲模式、RMS-Z曲線測量
◆ 選配工作模式:接觸模式、F-Z力曲線測量、摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 樣品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
◆ 掃描范圍:XY向20um,Z向2um
◆ 掃描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
◆ 樣品移動(dòng)范圍:0~13mm
◆ 光學(xué)放大倍數(shù)4X,光學(xué)分辨率2.5um
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz,掃描角度0~360°
◆ 掃描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
◆ 數(shù)據(jù)采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式:DSP數(shù)字反饋
◆ 反饋采樣速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 運(yùn)行環(huán)境:WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)
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