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工業(yè)型原子力顯微鏡

型　號FM-Nanoview LS- AFM

更新時間2025-10-30

所屬分類工業(yè)型原子力顯微鏡

訪問次數(shù)4654

產(chǎn)品描述：工業(yè)型原子力顯微鏡（FM-Nanoview LS- AFM），樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學玻璃等大樣品檢測。

產(chǎn)品概述

產(chǎn)品特色：


◆  實現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的大尺寸工業(yè)型原子力顯微鏡

◆  樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學玻璃等大樣品檢測

◆  樣品臺可拓展性強，非常便于進行多儀器聯(lián)用實現(xiàn)原位檢測

◆  一鍵式自動掃描，可任意編程多個測試點實現(xiàn)快速自動化檢測

◆  掃描圖像時樣品保持不動，驅(qū)動探針進行XYZ三維移動測量成像

◆  龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附式載物臺

◆  一體化的機械振動減震及環(huán)境噪音屏蔽解決方案，極大降低系統(tǒng)噪音水平

◆  馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能快速進針方式，保護探針及樣品

◆  掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%


技術(shù)參數(shù)：

工作模式

接觸模式、輕敲模式

Z升降臺

步進電機驅(qū)動控制，最小步長10nm

選配模式

摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力

Z升降行程

20mm(可選25mm)

力譜曲線

F-Z力曲線、RMS-Z曲線

光學定位

10X光學物鏡

XYZ掃描方式

探針驅(qū)動式XYZ掃描

攝像頭

500萬像素數(shù)字CMOS

XY掃描范圍

大于100um×100um

掃描速率

0.6Hz~30Hz

Z掃描范圍

大于10um

掃描角度

0~360°

掃描分辨率

橫向0.2nm，縱向0.05nm

運行環(huán)境

Windows 10操作系統(tǒng)

XY樣品臺

步進電機驅(qū)動控制，移動精度1um

通信接口

USB2.0/3.0

XY移動行程

200×200mm(可選300×300mm)

儀器結(jié)構(gòu)

龍門架式掃描頭，大理石底座

樣品載物臺

直徑200mm(可選300mm)

減震方式

氣浮式減震+隔音屏蔽罩(可選主動式減震臺)

樣品重量

≤20Kg





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